Применение демпфирующих цепей в импульсном источнике питания магнетронных распылительных систем

Авторы

Оскирко В. О.^*, Семенов В. Д.^**, Павлов А. П.^***

Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, ТУСУР, проспект Ленина, 40, Томск, 634050, Россия

*e-mail: oskirkovo@gmail.com
**e-mail: svd@ie.tusur.ru
***e-mail: apeltom@yandex.ru

Аннотация

Приведено описание принципа действия демпфирующих цепей (ДЦ), обеспечивающих мягкую коммутацию транзисторов в формирователе биполярных импульсов (ФБИ) повышенной частоты для питания магнетронных распылительных систем (МРС). Определены параметры элементов ДЦ, позволяющих снизить динамические потери мощности в транзисторе. Показано, что применение рекуперативных ДЦ в ФБИ дает возможность повысить энергоэффективность схемы в режиме повышенной частоты формирования импульсов.

Ключевые слова

импульсный источник питания, магнетронная распылительная система, демпфирующие цепи

Библиографический список

1. Scholl R.A. Power systems for reactive sputtering of insulating films. // Surface and Coatings Technology. Lausanne: Elsevier Science SA. 1997. Vol. 93(1), pp. 7-13.

2. Sellers J. Asymmetric bipolar pulsed DC: the enabling technology for reactive PVD. // Surface and Coatings Technology. Lausanne: Elsevier Science SA. 1998. Vol. 98(1-3), pp. 1245-1250.

3. Belkind A., Freilich A., Scholl R. Pulse duration effect in pulse-power reactive sputtering of Al2O3. // Surface and Coatings Technology. Lausanne: Elsevier Science SA. 1998. Vol. 108-109, рp. 558-563.

4. Оскирко В.О., Сочугов Н.С., Павлов А.П. Модульный биполярный источник питания для мощных ионно-плазменных установок // Приборы и техника эксперимента. 2014. № 5. С. 85-92.

5. Wolf G. Mains isolating switching-mode power supply. // Philips Electronic Application Bulletin. 1973. Vol. 32, no. 1, pp. 18-21.

6. Мелешин В.И. Транзисторная преобразовательная техника. — М.: Техносфера, 2005. — 632 с.

7. Williams B.W. Principles and Elements of Power Electronics. // Devices, Drivers, Applications and Passive Components. Glasgow: University of Strathclyde. 2006. P. 1432.

8. Ben-Yaakov S., Ivensky G. Passive lossless snubbers for high frequency PWM converters // Power Electronics Laboratory Department of Electrical and Computer Engineering Ben-Gurion University of the Negev. 1997, 139 p.

Скачать статью