Структура пленок сплава алюминий-кремний, полученных методом физического магнетронного распыления

Авторы

Дидык П. И.^*, Голиков Е. А., Жуков А. А.^**

Кафедра 1203 «Технологии производства приборов и информационных систем управления летательных аппаратов», г. Москва, Берниковская наб., д. 14, каб. 201, 202

*e-mail: Felix_engine@mail.ru
**e-mail: and_zhukov@mail.ru

Аннотация

Методами электронной микроскопии и профилометрии исследована структура пленок сплава алюминий-кремний (99% Al и 1% Si), полученных физическим магнетронным распылением. Исследованы и получены величины среднего размера зерна плёнок сплава алюминий-кремний при варьируемых мощности распыления, продолжительности распыления и толщине металлизации.

Ключевые слова

структуры пленок сплава алюминий-кремний, размер зерна при варьируемых режимах напыления

Библиографический список

1. Толливер Д., Новицки Р., Хесс Д. и др. Плазменная технология в производстве СБИС: Пер. с англ. /Под ред. Н. Айнспрука, Д. Брауна. — М.: Мир, 1987. — 470 с.

2. Shiuh-Chuan Her, Yi-Hsiang Wang. Temperature effect on microstructure and mechanical properties of aluminum film deposited on glass substrates. Indian Journal of Engineering and materials sciences. Vol.22. June 2015, pp. 268-272.

3. Takashi Ishiguro, Kazumi Miyamura. Controllability of Mesoscopic Surface Roughness of Sputtered Al and Al-N Films. Materials Transactions. 2005. Vol. 46. No. 12, pp. 3037-3043.

4. Антоненко С.В. Технология тонких пленок: Учебное пособие. — М.: МИФИ, 2008. — 104 с.

5. Дубровский В.Г., Цырлин Г.Э. Кинетика роста тонких пленок при зародышевом механизме формирования слоев // Физика и техника полупроводников. 2005. Т. 39. № 11. С. 1312-1319.

6. Технология тонких пленок: Справочник: В 2 т. / Под ред. Л. Майссела, Р. Глэнга. — М.: Советское радио, 1977. — Т. 1 — 664 с. Т. 2 — 770 с.

7. Chopra K.L., Kainthla R.C., Pandya D.K., Thakoor A.P. Physics of Thin Films. Academic press. London. 1982. Vol. 12, pp. 167.

8. Коломенцев А.И., Захаров С.А., Якутин А.В. Математическая модель расчета теплофизических свойств газовой смеси // Вестник Московского авиационного института. 2007. Т. 14. № 3. С. 41-47.

Скачать статью