Влияние температуры поверхности на характеристики распыления керамик на основе нитрида бора

Авторы

Семенов П. Н.

Московский авиационный институт (национальный исследовательский университет), 125993, г. Москва, Волоколамское шоссе, д. 4

e-mail: k502@mai.ru

Аннотация

Приводятся результаты экспериментального исследования влияния температуры поверхности на значения коэффициентов распыления конструкционных керамик на основе нитрида бора при облучении их поверхности потоками ионов Xe+ с энергиями 300 эВ. Температура поверхности менялась в интервале 300-1100°С.

Ключевые слова:

ионы; плазма; поверхность; распыление; температура поверхности