Влияние температуры поверхности на характеристики распыления керамик на основе нитрида бора

Авторы

Семенов П. Н.^1*, Шкарбан И. И.^2**

1. Московский авиационный институт (национальный исследовательский университет), Волоколамское шоссе, 4, Москва, A-80, ГСП-3, 125993, Россия
2. Кафедра 204 «Авиационно-космическая теплотехника»,

*e-mail: k502@mai.ru
**e-mail: heat204@mail.ru

Аннотация

Приводятся результаты экспериментального исследования влияния температуры поверхности на значения коэффициентов распыления конструкционных керамик на основе нитрида бора при облучении их поверхности потоками ионов Xe+ с энергиями 300 эВ. Температура поверхности менялась в интервале 300-1100°С.

Ключевые слова:

ионы; плазма; поверхность; распыление; температура поверхности