Создание управляющих программ для автоматизации процессов лазерного управляемого термораскалывания полупроводниковых и диэлектрических материалов

Авторы

Третьякова О. Н.^*, Шевченко Г. Ю.^**

Научно-исследовательский институт электронного специального технологического оборудования, НИИ «ЭСТО», проезд 4806, 5, стр.20, Зеленоград, 124498, Россия

*e-mail: tretiyakova_olga@mail.ru
**e-mail: shev.gleb@gmail.com

Аннотация

Разработка инновационных технологий создания полупроводниковых приборов для авиационной и космической техники является актуальной задачей. Совершенствование технологических процессов лазерного управляемого термораскалывания (ЛУТР) требует разработки нового эффективного программного обеспечения. В данной работе рассмотрены созданные в ОАО «Московский завод Сапфир» промышленные установки для резки полупроводниковых и диэлектрических пластин методом ЛУТР и управляющие программы, разработанные для этих установок.

Ключевые слова:

лазер; управляющая программа; лазерное управляемое термораскалывание, программная среда; компьютерное моделирование.