Синтез тонкослойных покрытий с регулируемой высокочастотной диэлектрической проницаемостью

Авторы

Абдуллин И. Ш.¹, Галяутдинов Р. Т.², Кашапов Н. Ф.¹

1. Казанский национальный исследовательский технологический университет, ФГБОУ ВО КНИТУ, ул.К.Маркса, 68, Казань, Республика Татарстан, 420015, Российская Федерация
2. НИИТ НасосМаш,

Аннотация

Рассмотрена задача синтеза тонкослойных покрытий с управляемым поглощением с помощью струйной неравновесной высокочастотной индукционной (ВЧИ) плазмы низкого давления. Метод конструирования интерференционных систем, основанный на варьировании комплексной части высокочастотной диэлектрической проницаемости, позволяет с помощью однослойного покрытия получить нулевое отражение от высокоотражающих поверхностей для заданной частоты электромагнитного излучения. Показана эффективность данного метода на примере алюминиевых зеркал (коэффициент отражения ~ 90%) при конструировании и реализации требуемой интерференционной системы.