Исследование характеристик микрооптоэлектромеханического преобразователя угловых скоростей

Авторы

Бусурин В. И.^*, Казарьян А. В.^1**, Фам А. Т.^2***

1. Центральный научно-исследовательский технологический институт, ЦНИТИ , Техномаш, ул. Ивана Франко, 4, Москва, 121108, Россия
2. Московский авиационный институт (национальный исследовательский университет), 125993, г. Москва, Волоколамское шоссе, д. 4

*e-mail: vbusurin@mai.ru
**e-mail: kazaryan@ya.ru
***e-mail: phamanhtuanlqd@gmail.com

Аннотация

Рассмотрена модель структуры одноосевого микрооптоэлектромеханического (МОЭМ) преобразователя угловых скоростей. Воспринимающий элемент преобразователя представляет собой микроэлектронный механический элемент, работающий на основе оптического туннельного эффекта и использующий эффект Кориолиса для преобразования угловой скорости в перемещение специальной чувствительной структуры. Также рассчитано влияние силы Кориолиса на отклонение чувствительного элемента в зависимости от различных конструктивных факторов, выбран соответствующий пьезоматериал. Исследуются и сравниваются с предыдущим вариантом характеристики чувствительного элемента с дополнительной массой.

Ключевые слова:

первичный преобразователь, пьезокерамика, микрооптоэлектромеханическая система, оптическое туннелирование, функция преобразования, сила Кориолиса

Библиографический список

1. Шарапов В.М., Мусиенко М.П., Шарапова Е.В. Пьезоэлектрические датчики. — М.: Техносфера, 2006. — 636 с.
2. Бусурин В.И., Можаев В.А., Шеленков В.М. Сенсорные технологии. — М.: Изд-во МАИ, 2013. — 92 с.
3. Горшков А.Г., Трошин В.И., Шалашилин В.И. Сопротивление материалов. — М.: Физматлит, 2005. — 544 с.

Скачать статью