Математическое моделирование высокочастотных газовых разрядов в цилиндрической камере

Авторы

Шишкин А. Г.

Аннотация

В рамках двумерной математической модели проведено численное исследование поведение плазмы высокочастотного газового разряда в цилиндрической камере. Основу модели составляет система уравнений, состоящая из уравнений непрерывности и передачи импульса для положительно и отрицательно заряженных ионов и электронов, а также уравнения электронного баланса энергии и уравнения Пуассона для потенциала электрического поля. С помощью численного решения получены профили основных плазменных параметров для двух рабочих газов водорода и гелия. Построенная модель применялась для анализа и предсказания параметров плазмы, используемой для стерилизации медицинских инструментов

Ключевые слова:

математическое моделирование, плазма, ВЧ-газовый разряд, уравнение Больцмана.